納米壓印-光刻機(jī)

納米壓印光刻的更好解決方案

桌面R2P納米壓印機(jī)與今天仍然主導(dǎo)行業(yè)的傳統(tǒng)納米壓印工具相比，它是一種小型且具有成本競(jìng)爭(zhēng)力的卷對(duì)板壓印。這種智能技術(shù)是納米壓印光刻平面和卷對(duì)板 （R2P） 設(shè)備。

我們的卷對(duì)板NIL工藝使用壓區(qū)壓印工藝以及可調(diào)節(jié)的壓印力，以最大限度地減少材料收縮，同時(shí)減少氣泡問題。這種壓印工藝減少了對(duì)基材一致性的要求，降低了成本，提高了產(chǎn)量。

在設(shè)計(jì)這款R2P納米壓印機(jī)時(shí)考慮到了節(jié)省成本，同時(shí)旨在制造具有高質(zhì)量輸出的機(jī)器;通過對(duì)每小時(shí)多達(dá) 60 個(gè)印版/晶圓進(jìn)行定期性能評(píng)估，在大批量使用中不會(huì)影響質(zhì)量。

納米壓印機(jī)可加快工藝周期

桌面式R2P納米打印機(jī)通過快速測(cè)試新設(shè)計(jì)，允許開發(fā)周期的快速迭代;因此，它是原型制作的設(shè)備。

該設(shè)備使用戶能夠嘗試和測(cè)試許多壓印技術(shù);光固化樹脂和加工參數(shù)，如壓力、速度和光強(qiáng)度。這些檢查對(duì)于在大規(guī)模生產(chǎn)之前進(jìn)行擴(kuò)展非常有用 - 在內(nèi)部構(gòu)建原型的能力將節(jié)省時(shí)間和資源。臺(tái)式R2P納米壓印機(jī)還允許從易于使用的DIY耗材開發(fā)壓印模板

光學(xué)引擎設(shè)計(jì)，設(shè)備更簡(jiǎn)潔

該打印機(jī)包括光學(xué)引擎，該引擎提供具有被動(dòng)冷卻功能的長(zhǎng)壽命（395nm）發(fā)光二極管（LED），以及可選的內(nèi)置水冷功能，可滿足各種曝光需求。

我們?cè)诠鈱W(xué)引擎中使用發(fā)光二極管來生產(chǎn)更大的產(chǎn)量。這取代了氣體放電管輕型發(fā)動(dòng)機(jī)。光學(xué)引擎是臺(tái)式R2P納米壓印機(jī)的重要組成部分，因?yàn)樗峁┝嗽谖覀兊墓夤袒瘶渲挟a(chǎn)生快速化學(xué)反應(yīng)所需的高度聚焦的光子能量，將聚合物狀態(tài)從彈性變?yōu)樗芰稀?/span>

納米壓印-光刻機(jī)

臺(tái)式R2P納米打印機(jī)規(guī)格

最大印跡尺寸：最大 105 x188 mm （寬 x 長(zhǎng)），

基板厚度：最大 11 mm

復(fù)制速度：每小時(shí) 60 次手動(dòng)復(fù)制（速度高達(dá) 5 米/分鐘）

速度范圍 0.1 至 5 米/分鐘。

光學(xué)固化引擎：長(zhǎng)壽命395nm LED

最大功率：在 5 米/分鐘時(shí)高達(dá) 120mJ/cm2。

設(shè)備尺寸和重量：670x380x320毫米（長(zhǎng)x寬x高），26公斤